국내 디스플레이 정전척(ESC) 전문 기업 이에스티가 8.6세대 유기발광다이오드(OLED)에 적용한 대면적 기술을 바탕으로 반도체 정전척 국산화에 나섰다.
김영곤 이에스티 대표는 최근 전자신문과 만나 “국내 디스플레이 패널 업체의 8.6세대 OLED 유리기판을 다룬 기술력을 바탕으로 해외 의존도가 높은 반도체 정전척 시장까지 국산화하겠다”고 밝혔다.
이에스티는 2016년 설립된 ESC 전문 기업이다. 국내에서 유일하게 디스플레이·반도체 분야 ESC 설계부터 제조까지 전 과정 사업 역량을 갖췄다.
정전척은 정전기력을 이용해 기판(유리 또는 웨이퍼)을 하단에 단단히 고착시키는 핵심 부품이다.
이에스티는 2023년 업계 최초로 8.6세대 OLED 양산 공정에 음극과 양극을 교차 배치하는 '바이폴라' 방식을 적용한 정전척을 적용했다. 바이폴라 방식은 주로 반도체 정전척에 활용되던 기술인데, 이를 디스플레이에 적용해 제어력을 높였다.
이 정전척은 10T(10㎜) 이내 얇은 두께에 쿨링 시스템까지 내장했다.
김 대표는 “8.6세대는 유리원장이 워낙 크고 무거워 '기판 처짐' 현상이 심각하고 탠덤 구조 구현을 위해 초정밀 정렬이 필수적”이라며 “기존 쿨링 플레이트 방식으로는 해결하기 어려운 난제를 바이폴라 정전척이 적용해 양산이 가능해졌다”고 설명했다.
디스플레이의 대면적 정전척을 국산화한 데 이어 반도체 시장으로 진출한다는 구상도 공유했다. 반도체 정전척은 일본 업체들이 장악하고 있는 분야다. 이에스티는 현재 웨이퍼용 정전척을 재생해 수리하는 역할을 수행하고 있다.
정전척은 세라믹을 재료로 한다. 디스플레이 정전척은 대면적화를 위해 플라즈마 스프레이 코팅으로, 반도체 정전척은 고순도가 중요해 세라믹 가루를 가열해 굽는 소결 방식으로 만든다.
김 대표는 대면적화가 어려운 소결 방식으로도 12인치 웨이퍼와 515×510㎜ 반도체 유리기판까지 고정할 수 있는 정전척 기술을 확보했다고 밝혔다. 대형 기판을 고정하는 분야를 공략하겠다는 전략이다.
이에스티는 반도체 사업 확대를 위해 오산 본사에 제2공장을 구축하고 있다. 연내 코스닥 상장도 추진해 확보한 자금은 제2공장 설비 투자에 투입할 계획이다.
김 대표는 “부도체인 대면적 유리를 정밀하게 제어해 공중에 거꾸로 붙이는 디스플레이 정전척 기술은 도체면서 작은 웨이퍼를 잡는 반도체 분야와 차별화된 기술”이라며 “디스플레이 정전척 선도적 입지를 토대로 반도체 핵심 부품인 정전척을 국산화하겠다”고 말했다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
