[ET특징주]티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 日 특허 등록 소식에 상승세

티로보틱스가 반도체 유리기판 이송로봇의 일본 특허 등록 소식에 상승세다.

티로보틱스(117730)는 5월 28일 오전 11시 6분 기준 전 거래일보다 9.72% 상승한 19,410원에 거래되고 있다.

티로보틱스는 이날 '진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 기판 이송 장치' 관련 기술에 대해 일본청 특허 등록을 완료했다고 밝혔다.

해당 기술은 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화된 진공로봇 기술로, 회사는 지난해 반도체대전(SEDEX 2025)에서 유리기판 이송용 진공로봇을 공개한 바 있다.

유리기판은 기존 인쇄회로기판(PCB) 대비 높은 평탄도와 미세회로 구현에 유리해 AI 서버와 고대역폭메모리(HBM) 시장 성장 과정에서 핵심 기술로 평가된다.

이원지 기자 news21g@etnews.com