HPSP와 예스티가 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허를 두고 벌인 심결취소소송에서 특허법원이 HPSP 특허의 유효성을 인정하면서도 예스티 기술은 해당 특허 권리범위에 속하지 않는다고 판단했다.
18일 특허법원은 HPSP와 예스티가 각각 제기한 심결취소소송 3건을 모두 기각했다. 대상 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치' 특허다. 예스티 장비 기술이 HPSP 특허 권리범위에 속하는지를 다투는 권리범위확인 심결취소소송과 HPSP 특허 유효성을 다투는 무효 심결취소소송이 포함됐다.
특허법원은 HPSP 특허가 유효하다고 판단했다. 다만 예스티 기술은 HPSP 특허 권리범위에 속하지 않는다고 봤다. HPSP 특허는 유지되지만, 예스티 기술이 해당 특허를 침해했다는 주장은 받아들여지지 않은 것이다.
쟁점이 된 특허는 고압 환경에서 챔버를 열고 닫으며 체결하는 장치 기술이다. HPSP 특허는 '회전체결링' 구조를 전제로 하는 반면, 예스티 기술은 회전체결링 없이 외부 도어가 회전하는 방식이라는 점이 판단 근거가 됐다.
HPSP는 이번 특허법원 판결에 대해 대법원 상고 여부를 검토 중이다.
이번 판결은 서울중앙지방법원에서 진행 중인 특허권 침해금지 본안 소송에서도 양측 주장의 근거로 활용될 수 있다. 본안 소송은 예스티 장비가 HPSP 특허를 침해했는지를 다투는 절차다. 해당 소송의 1차 변론기일은 오는 8월 13일로 예정돼 있다.
HPSP와 예스티의 특허분쟁은 2023년 HPSP가 예스티를 상대로 특허권 침해금지 소송을 제기하면서 시작됐다. HPSP는 예스티의 HPA 장비가 자사 특허를 침해했다고 주장해 왔고, 예스티는 특허 무효와 비침해 논리로 대응하고 있다.
예스티 관계자는 “자사가 고객사에 납품하는 제품은 회전체결링이 없는 다른 구조”라며 “올해 8월 첫 양산기 납품을 시작으로 글로벌 고객사 다변화와 매출 성장을 본격화하겠다”고 말했다.
HPSP 관계자는 “이번 판결은 양산 장비가 아닌 기술 아이디어를 대상으로 한 판단”이라며 “이번 판결을 두고 실제 제품의 특허침해 여부가 판단됐거나 경쟁사의 기술력 또는 사업성이 인정된 것처럼 해석하는 것은 사실관계를 왜곡하는 것”이라고 반박했다.
박유민 기자 newmin@etnews.com
