글로벌 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)은 제9회 'AI 브레이크스루 어워즈'에서 '올해의 AI 반도체 제조 솔루션' 부문에 선정됐다고 29일 밝혔다.
올해로 9년째를 맞은 AI 브레이크스루 어워즈는 글로벌 인공지능(AI) 시장의 우수 기업과 기술, 제품을 조사·분석하는 시장조사기관 AI 브레이크스루에서 주관하는 어워드다. 올해 어워즈에는 에이전트형 AI와 생성형 AI, 컴퓨터 비전, AI운영(AIOps), 로보틱스, 자연어 처리, 산업별 AI 응용 등 부문에 수천건 후보가 몰렸다.
도쿄일렉트론은 반도체 제조 공정에도 AI를 적용하고 있다. 첨단 소프트웨어와 AI 기반 공정 제어를 통해 고객사가 수율과 균일도, 신뢰성을 높이는 동시에 양산까지 걸리는 시간을 앞당기도록 돕는다.
또다른 핵심은 3D집적(3D Integration) 기술이다. 로직과 메모리를 정밀하게 쌓아 올려 하나로 통합함으로써 대역폭은 높이고, 지연 시간과 전력 소비는 줄인다. 고객사는 이 기술을 활용해 기존 평면(planar) 설계의 한계를 넘어 AI 성능을 한 차원 더 끌어올릴 수 있다.
이시다 히로시 도쿄일렉트론 대표이사 수석 부사장은 “도쿄일렉트론 '엡시라(Epsira)'는 데이터를 매개로 장비와 고객사 현장을 빈틈없이 연결해, 장비 생산성은 물론 반도체 제조 전반의 성능까지 함께 높인다”며 “전공정과 후공정 역량을 하나로 묶어 3DI의 진화를 가속화하고, 차세대 반도체 혁신을 뒷받침하겠다”고 말했다.
이형두 기자 dudu@etnews.com
