X-ray(엑스레이) 검사장비 선도기업 자비스(254120, 대표이사 김형철)가 글로벌 화학기업에 반도체 유리기판의 TGV(Through Glass Via, 유리 관통 전극) 검사장비 'XSCAN SEMI'(모델명 H110-OCT)를 공급하는 계약을 체결했다고 밝혔다.
자비스는 2025년 TGV 검사장비 개발을 마치고 고객사 샘플 검증을 거친 뒤, 올해 6월 반도체 기판기업에 TGV 검사장비를 공급하는 계약을 맺었고 같은 달 유리기판 첨단 패키징용 X-ray CT(Computed Tomography, 컴퓨터 단층촬영) 검사장비를 추가로 수주했다. 이번 계약으로 유리기판 검사장비 고객이 기판 제조사에서 글로벌 화학기업으로 넓어졌다. 개발·검증 단계를 지나 여러 고객에게 공급 실적을 쌓는 단계에 들어선 것이다.
TGV는 유리기판에 미세한 구멍을 뚫고 금속으로 채워 기판 위아래를 전기적으로 잇는 전극이다. 유리기판은 AI 반도체 등 고성능 칩의 첨단 패키징에 쓰이는 차세대 기판으로, 수만 개의 비아를 구리로 채우는 과정에서 생기는 기공(Void)과 도금층 결함은 겉에서 확인할 수 없다. 이를 기판 단계에서 걸러내지 못하면 칩을 올린 뒤에야 불량이 드러나 비용이 커지기 때문에, 내부를 투과해 보는 비파괴 검사장비가 필요하다.
자비스는 반도체 패키지와 PCB(Printed Circuit Board, 인쇄회로기판) 검사에서 쌓아 온 X-ray CT 기술을 유리기판 TGV 검사로 넓혔다. 'XSCAN SEMI'는 마이크로포커스 X-ray를 쓰는 고해상도 CT 검사장비로, 구리로 채운 비아 내부의 충전 상태와 보이드, 시드층(seed layer) 결함을 확인하며, 최대 520×520mm 면적을 검사한다.
2025년 고객사 샘플 검증에 머물렀던 자비스의 유리기판 검사장비는 올해 실제 발주로 이어지고 있다. 화학기업까지 장비를 들이면서 유리기판 내부를 검사하려는 수요가 기판 제조사 밖으로도 넓어지고 있다. 자비스는 유리기판 검사 실적을 바탕으로 기판 제조사와 화학·소재·도금 기업 등 유리기판 밸류체인 전반으로 공급을 넓혀 간다는 계획이다. 데이터센터용 반도체에서 주목받는 CPO(Co-Packaged Optics, 광학소자 통합 패키징) 유리기판 검사에도 같은 장비를 적용할 수 있다.
김형철 자비스 대표이사는 “유리기판은 공정이 표준화되는 과정에 있어 검사 조건을 고객과 함께 정해 가며 쌓은 실적이 곧 경쟁력”이라며 “TGV 검사에서 확보한 데이터와 검사 사양을 바탕으로 유리기판을 준비하는 국내외 고객에게 공급을 넓혀 가겠다”고 말했다.
한편 자비스는2차전지 분야에서 세계 최초 듀얼 인렛 방식의 회전광학계(Rotating Optics) 기반 배터리 전용 CT로 'InterBattery Awards 2026(인터배터리 어워즈)' 장비 부문에 선정됐고, 전고체전지 검사시스템 국책과제에도 참여하고 있다. 지난 9월 배터리 X-ray 검사장비 34억원 공급계약을 공시했고, 10월에는 글로벌 배터리 제조사와의 파우치형 배터리용 X-ray 이물검사장비 10억원 공급계약을 알리는 등 배터리 검사장비 수주를 이어갔다. SMT/PCB 분야에서는 3D AXI와 대면적 2D AXI를 잇달아 내놓고 자동차 전장과 PCB 제조 분야에서 수주했다.
서희원 기자 shw@etnews.com
