일본 반도체장비 업체들이 반도체 호황에 따른 수주호조에 대응, 설비투자 에적극 나서고 있다고 일본 "전파신문"이 최근 보도했다. 이에 따르면 이들 업체는 앞으로도 수주가 계속 늘어날 것으로 보고 증산을겨냥한 설비투자를 가속화하고 있다. 또 차세대 반도체에 대응해 신기술개발을 위한 연구개발(R &D) 투자에도 적극 나서고 있다. 95년도 반도체장비의 매출목표를 2천9백40 억엔으로 세우고 있는 도쿄 일렉트론사는 이미 지난달 규슈 사가사업소에 새 공장동을 완성, 세정장치와 레지스터 도포현상장치의 생산능력을 종래의 2배 로 확대했다. 또 지난달 초에는 도쿄 일렉트론 야마나시에 약 30억엔을 들여 새 공장동의건설에 착수했다. 내년 2월 완성되는 이 공장에서는 에칭장치, 메탈CVD장치등을 생산한다.
95년도 매출액이 전년비 85% 늘어난 1천1백억엔에 이를 것으로 전망되는 어드반테스트는 신기종 개발을 위해 군마현의 메이와공업단지 안에 새 R&D 센터를 건설키로 했다. 약 50억엔을 투자해 다음달 초 착공하는 새 연구거점 은내년 10월 완공할 계획이다.
이밖에 다이사, 그라인더의 최대 업체인 디스코사도 수주확대에 대응해 약5억엔을 투입, 새 공장동을 건설할 계획이다. <신기성 기자>