실리콘밸리의 초기 개척자이자 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 설립자인 윌리엄 허글(Hugle)이 지난 14일(현지시각) 애리조나 자택에서 76세를 일기로 사망했다고 실리콘스트래티지스가 전했다.
반도체 프로세싱 관련 특허를 30개나 가지고 있는 엔지니어인 그는 50년대말 실리콘밸리에 실리코닉스(siliconix)를 설립하는 등 초기 실리콘밸리의 주역 중 한 사람이다. 시카고 대학 출신인 그는 60년대와 70년대에 걸쳐 왕성한 활동을 하며 이 시기에 SEMI를 만들고 첫 회장으로 취임했다.
SEMI의 스텐레이 마이어스 회장은 “허글 설립자는 반도체 산업을 위해 30년도 넘게 공헌해왔다”고 말했다. SEMI는 현재 전세계 2500개 업체가 참여하고 있는 반도체산업의 대표적인 협회다.
<성호철기자 hcsung@etnews.co.kr>