엘오티베큠(대표 오흥식)은 LCD 공정용 대용량 건식 진공펌프(제품명 DD255)를 개발, 양산에 들어간다고 1일 밝혔다.
이 회사는 3년간 자체 기술로 LCD용 대용량 건식 진공펌프를 독자 개발했으며 1년 6개월 간 실제 LCD 공정에서 검증을 거쳐 최근 국내 주요 LCD 장비 업체에 납품을 시작했다.
이 제품은 기존 제품과 크기는 동일하나 배기 속도는 2배 커 같은 시간에 더 넓은 챔버의 진공 작업이 가능, 반도체 장비에 비해 챔버 크기가 큰 LCD 공정에 적합하다고 회사측은 설명했다. 또 반도체 공정도 웨이퍼 사이즈의 증가 및 나노 공정 제품 시장의 확대로 대용량 펌프의 수요가 커지고 있어 반도체 공정에서도 새로운 시장을 개척할 수 있을 것으로 기대된다.
이 회사는 지난 2003년에도 반도체용 건식 진공펌프를 독자 기술로 개발한 바 있다.
한편 국내 반도체·LCD용 진공펌프 시장은 연간 2500억원 규모로 추산된다.
한세희기자@전자신문, hahn@