LGD-연세대 산업협력 논문, '네이처 커뮤니케이션즈' 최신호 게재

글자 작게 글자 크게 인쇄하기

LG디스플레이는 산학협력 형태 인큐베이션 과제 지원으로 수행된 심우영 연세대 신소재공학과 교수팀의 연구 결과가 국제 과학저널 '네이처 커뮤니케이션즈' 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다.

LGD-연세대 산업협력 논문, '네이처 커뮤니케이션즈' 최신호 게재

이번 논문은 유연하고 투명한 새로운 포토마스크를 이용, 초미세 패턴을 구현하는 '포토리소그래피(Photolithography)' 기술 개발에 관한 내용을 다뤘다. 액정표시장치(LCD)는 물론 유기발광다이오드(OLED)에 적용 가능하다. 포토리소그래피는 반도체·디스플레이 제조 공정에서 포토레지스트(감광액)를 실리콘 웨이퍼 또는 글라스에 얇게 바른 후 설계 패턴이 그려진 마스크를 올리고 빛을 가해 회로를 형성하는 기술이다

이번 논문 공동 저자인 장기석 LG디스플레이 박사는 “미래 디스플레이 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(종자) 기술”이라고 설명했다.

심우영 연세대 교수
<심우영 연세대 교수>

연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다. 기존 디스플레이용 노광장비로도 현재 보다 만들 수 있는 크기의 100분의 1 수준에 해당하는 수십 ㎜ 초미세 패턴을 구현할 수 있다.

심우영 교수는 “빛의 회절 한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있다”면서 “향후 다양한 형태 소자 공정에 적용할 수 있을 것”이라고 기대했다.

윤희석기자 pioneer@etnews.com