SK머티리얼즈, 초고순도 불화수소 양산…日 수출규제 후 국산화

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SK머티리얼즈, 초고순도 불화수소 양산…日 수출규제 후 국산화

SK머티리얼즈가 반도체 제조용 초고순도 불화수소(HF) 가스를 양산한다. 반도체 세정 공정에 주로 사용되는 불화수소 가스는 지난해 일본이 수출규제 대상에 올린 품목이다. 수출 규제 이후 불화수소 가스 국산화에 뛰어든 SK머티리얼즈가 양산에 본격 착수함으로써 일본 소재 대체 및 국내 반도체 생태계 강화에 기여할 전망이다.

SK머티리얼즈는 17일 순도 99.999% 불화수소 가스를 양산한다고 밝혔다. 회사는 작년 말 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15t 규모 생산시설을 건설하며 양산 준비를 해왔다.

불화수소 가스는 지난해 7월 일본 정부가 우리나라 대법원의 일본 강제징용 손해 배상 판결을 트집 잡아, 한국을 상대로 수출 제한을 둔 품목 중 하나다.

이 가스는 반도체 공정 중 웨이퍼에 묻은 미세 찌꺼기를 떼어내는 중요 역할을 한다. 액상 불화수소와 함께 불화수소 가스도 일본 소재 업체가 공급을 주도했다. 공정 미세화로 가스 수요가 늘고 있지만 해외 의존도가 100%에 달했다.

SK머티리얼즈는 지난해 7월 말 불화수소 가스 국산화에 본격 착수 후 약 1년 만에 양산품을 생산하는 성과를 거뒀다.


SK머티리얼즈가 양산한 초고순도 불화수소 가스는 국내 반도체 제조사에 공급될 것으로 보인다.

회사는 국산화 과정에서 확보한 역량을 국내 중소기업과 공유하면서 반도체 생태계 강화에도 나설 계획이다.

SK그룹 관계자는 “투자비나 전문 인력 확보에 어려움을 겪는 중소기업에 SK의 노하우를 공유할 방침”이라며 “국내 반도체 산업 경쟁력을 올리면서 고용 창출 효과에 기여하겠다”고 전했다.

SK머티리얼즈는 반도체 필수 공정인 노광 작업에 쓰이는 불화아르곤(ArF) 포토레지스트와 포토레지스트 보조재인 하드마스크도 개발 중이다.


SK머티리얼즈 연구원들이 반도체 공정에 사용하는 특수가스를 분석하는 모습(자료: 전자신문DB)
<SK머티리얼즈 연구원들이 반도체 공정에 사용하는 특수가스를 분석하는 모습(자료: 전자신문DB)>

강해령기자 kang@etnews.com