엔씨디, 대면적·고양산성의 증착 장비 개발 성공…기술혁신R&D 지원 효과 커

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엔씨디가 높은 양산성과 대면적 적용에 특화된 원자층 박막증착(ALD) 장비 개발로 반도체, 태양전지, 디스플레이 등 다양한 산업군으로 고객 저변을 넓히고 있다. 최근에는 그래핀 증착이 가능하도록 장비를 개발해 주목받고 있다.

엔씨디 직원들의 모습.
<엔씨디 직원들의 모습.>

엔씨디(대표 신웅철)는 올해 국내 기업과 '꿈의 신소재'라 불리는 그래핀 제조를 위한 '연속 롤투롤' 장비를 공급했다고 밝혔다. 기존에 적용이 어려웠던 유연 폴리머 필름에다 저온에서 그래핀 증착이 가능하도록 하는 데 성공했다.

그래핀은 탄소 원자의 2차원 육각형 결합체로, 물리적 강도가 강철의 200배 이상이며 구리, 알루미늄과 같은 금속보다 10배 정도 열전성을 가진다. 고품질의 롤투롤 그래핀 필름은 투명전극, 2차전지와 투명디스플레이 등 다양한 분야에 적용이 가능하다.

회사는 2010년 설립 이후 대면적화되고 있는 디스플레이와 고집적화되는 반도체 소자에 대응할 수 있는 대면적·고양산성의 ALD 공정·장비기술을 지속 개발하고 있다. 특히 2015년 중기부와 중소기업기술정보진흥원의 '기술혁신개발사업'에 지원, 4억3000만원의 연구개발자금을 통해 6세대급(1500㎜x1850㎜) 이상의 대면적 박막 증착 기술을 개발하는 데 성공했다. 이를 기반으로 국내에서 LG 디스플레이, LG화학 등에 2세대급 ALD 장비를 공급했고, 해외에는 중국 디스플레이 제조사에 5.5세대급 장비와 6G 하프급 장비를 수출했다.

최근 다원계 산화물 반도체인 이그조(IGZO)를 기존 디스플레이 백플레인 분야 뿐 아니라 DRAM 메모리, 투명플레서블 디스플레이, 센서 등의 미래 전자 응용분야에 적용하려는 움직임이 활발하다. 엔씨디는 자사의 독창적인 기술을 적용한 이그조 공정용 고생산성 배치 ALD를 적용한 장비를 개발, 최근 성능 평가를 진행하고 있다.

태양광 산업에서도 풍성한 성과를 쏟아내고 있다. 회사는 원자단위 두께를 조절할 수 있는 ALD를 사용해 태양전지의 효율을 증가시키면서 동시에 높은 생산량이 가능한 태양전지 생산 장비 개발했다. 특히 고효율 결정질 실리콘 태양전지 페시베이션 장비인 'LucidaTM GS 시리즈 ALD' 장비를 국내외 태양전지 제조사에 공급하며 성장을 견인하고 있다.

현재 회사가 확보한 특허는 국내 출원 67건, 국내 등록 48건, 해외 출원 21건, 해외 등록 8건 등이다.

신웅철 엔씨디 대표
<신웅철 엔씨디 대표>

신웅철 엔씨디 대표는 “지속적인 연구개발을 위해 직접 투자와 국책과제로 성과를 창출하면서 많은 지적 재산권 창출과 전문 인력 확보했다”며 “최근에는 중국 법인을 중심으로 해외 시장 확대에 집중, 글로벌 시장 공략을 본격화하려 한다”고 말했다.

엔씨디는 설립 7년만인 2017년에 300만달러 수출탑, 이듬해 1000만달러 수출탑을 수상하기도 했다. 지난해에는 200억 매출탑도 수상했다.

성현희기자 sunghh@etnews.com