기계연, 디스플레이·반도체 공정 중 단차 잡아내는 오토 포커스 국산화

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기계연 연구팀이 국산화에 성공한 오토 포커스 광학 모듈 장비
<기계연 연구팀이 국산화에 성공한 오토 포커스 광학 모듈 장비>

전량 수입에 의존하던 레이저 가공기용 오토 포커스(Auto-focus)장비가 국산화됐다.

한국기계연구원(원장 박상진)은 광응용장비연구실 노지환 책임연구원이 디스플레이 생산 시 불량 검사에 필요한 머신 비전 성능을 향상 시키는 레이저 가공기용 오토 포커스 장비를 국산화했다고 3일 밝혔다.

오토 포커스는 카메라로 사진을 찍을 때 피사체가 또렷하게 보이도록 초점을 맞추듯, 관찰 대상에 초점을 맞추도록 조절하는 기능이다. 빠르고 선명하게 이미지를 확보하려면 대상물 변화에 따라 초점을 맞추는 기술이 관건이다.

연구팀은 대면적 디스플레이 불량을 검사할 때 쓰이는 현미경에 반달 모양 마스크를 적용, 디스플레이 이동에 따라 발생하는 '단차'를 빠르고 정밀하게 측정하는 '레이저 반달 마스킹 변위 측정 기술'을 개발했다.

레이저 빔에 반달 모양 마스크를 적용하면 대상 물체 위치 변화에 따라 초점이 맞을 때는 또렷한 레이저 빔을, 맞지 않을 때는 반달 모양 볼록한 부분이 좌우로 바뀌는 레이저 빔을 확인할 수 있다. 초점이 정확히 맞는 위치로부터 대상체가 위·아래로 얼마나 멀어져 있는지 확인할 수 있다. 빠르게 초점을 조절할 수 있다.

노지환 책임연구원은 “현미경과 레이저 가공기를 위한 오토 포커스 장비는 국내 대기업 주력 분야인 디스플레이 산업에 두루 사용되는 기술로 현재 전량 수입 기술에 의존해 왔다”며 “국산 디스플레이와 반도체 장비 공정에 우리 기술을 적용해 기업 경쟁력을 높이는 데 큰 도움이 될 것으로 기대한다”고 말했다.

한편 이번 연구는 한국산업기술평가관리원이 지원한 '초박형 웨이퍼 절단을 위한 레이저 기술 및 장비 실증' 과제(과제 책임자 안상훈) 지원을 받아 수행됐다.

대전=김영준기자 kyj85@etnews.com