반도체 클린룸 고성능 필터도 국산화 성공

국내 부품·소재 전문기업이 반도체 클린룸 고성능 필터 개발에 성공했다. 8일 전남 영광군 코멤텍에서 직원들이 확장형 폴리테트라 플루오로에틸렌(ePTFE) 분리막(멤브레인) 기반의 고성능 헤파(HEPA)·울파(ULPA) 필터를 살펴보고 있다.

이동근기자 foto@etnews.com