ASML이 경기도 화성에 반도체 노광 장비 기술을 지원하는 거점을 구축했다.
ASML은 12일 1만6000제곱미터(㎡) 규모 화성 캠퍼스를 준공했다고 밝혔다. 지난 2022년 착공 이후 3년 만에 완공된 화성 캠퍼스는 신사옥과 부품 재제조센터, 트레이닝센터 등으로 구성됐다.
심자외선(DUV)과 극자외선(EUV) 등 첨단 반도체 노광기에 들어가는 부품을 재사용하거나 수리할 수 있는 설비를 갖췄다. 또 ASML과 고객사 포함, 연간 2000명을 대상으로 100여개 이상 프로그램을 운영할 수 있는 곳이다.
ASML은 EUV 독점 생산 업체다. EUV는 초미세 회로 반도체 구현을 위한 필수 노광 기술로, 삼성전자와 SK하이닉스가 ASML EUV 노광기를 쓰고 있다.
ASML이 기술 지원 거점을 국내 마련한 만큼 삼성전자·SK하이닉스와의 협력을 강화할 전망이다. ASML은 “화성 캠퍼스는 아시아 핵심 거점으로, 한국 반도체 산업의 공급망 안정성 강화와 기술 내재화에 기여할 것”이라고 밝혔다.
화성 캠퍼스 준공식 행사 참석을 위해 방한한 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 삼성전자·SK하이닉스 경영진과 잇따라 회동하며 협력을 다졌다.
푸케 CEO는 전날 곽노정 SK하이닉스 사장을 만난 데 이어 이날 오후에는 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장 부회장과 회동한다.
초미세 공정 경쟁력을 좌우하는 요소인 EUV 장비 수급 방안을 논의했을 것으로 관측된다. 삼성전자와 SK하이닉스는 기존 EUV 설비보다 성능이 개선된 '하이 NA EUV' 장비 도입을 가속화하고 있다.
ASML은 화성 캠퍼스 준공을 계기로 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업과 연계 생태계도 구축한다는 계획이다.
푸케 CEO는 “주요 반도체 제조사들과 긴밀한 협력과 신속한 기술 지원이 가능하다”며 “지리적 근접성은 효율적인 기술 이전에도 기여할 것”이라고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
