씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비사 램리서치와의 주요 특허무효 소송에서 잇따라 승소했다.
20일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 16일 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 '무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들(특허 제2201934호)'에 대한 특허무효 심판에서 '청구 성립' 심결을 내렸다. 해당 특허를 무효로 하고 심판 비용은 피청구인인 램리서치가 부담한다는 주문이다.
이 특허는 플라즈마 공정 챔버 내에서 무선 주파수(RF) 전류 흐름을 제어해 챔버 벽을 보호하고 이상 방전을 방지하는 기술에 관한 것이다. 분쟁 대상 제품은 반도체 식각 공정 장비 내부에 장착되는 핵심 실리콘 부품인 '한정 링'이다. 플라즈마를 일정 공간에 가둬 공정 안정성과 수율을 높이는 역할을 한다.
램리서치는 챔버 내 부품 간 미세한 갭이 RF 단락 역할을 하며 전류를 흐르게 하는 것이 자사 고유 기술이라고 주장해 왔다.
그러나 특허심판원은 일본 공개 특허 등 선행기술의 결합만으로도 통상의 기술자가 쉽게 구현할 수 있어 진보성이 없다고 판단했다.
이번 심결로 램리서치가 씨엠티엑스를 상대로 제기한 특허권 침해 금지 소송의 근거가 된 인접 특허 2건이 모두 무효화됐다.
램리서치는 지난 2024년 10월 동일 명칭의 '무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들' 특허 2건을 침해했다며 소송을 제기했다.
씨엠티엑스는 각 특허에 대해 권리범위확인심판과 특허무효심판을 청구해 대응했다.
특허무효 심결이 확정되면 해당 특허는 처음부터 효력이 없었던 것으로 본다. 이에 따라 이를 근거로 제기된 특허권 침해 금지 및 손해배상 소송에서도 영향을 줄 것으로 관측된다.
다만 램리서치가 이번 심결에 불복할 경우 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있어 법적 다툼이 이어질 가능성은 남아 있다.
램리서치의 소송은 자사 장비에 쓰이는 소모성 부품의 에프터마켓 영향력을 강화하려는 목적으로 풀이된다. 장비 설치 이후 반복적으로 교체되는 소모성 부품 시장을 직접 통제해 안정적인 부품 매출을 확보하기 위한 전략이라는 분석이다.
램리서치는 지난 2020년 국내 특허 등록건수가 68건에 불과했으나 2025년 기준 344건으로 확대했고, 이를 기반으로 국내 기업을 상대로 특허 소송을 제기해왔다.
씨엠티엑스 관계자는 “이번 심결은 당사 제품이 램리서치의 지식재산권을 침해하지 않았음을 명확히 확인한 결과”라며 “향후 특허 재판과 민사 소송에서도 유리하게 작용할 것”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
