한국핵융합에너지연구원(원장 오영국)은 1일 대전 본원에서 아센디아와 반도체·디스플레이 플라즈마 장비에 적용되는 고정밀 RF 파워(고주파 전력) 측정 기술에 대한 기술실시계약을 체결했다.
이 기술은 반도체·디스플레이 제조 공정에서 플라즈마에 공급되는 고주파 전력을 정밀하게 측정하는 기술이다.
기존 센서는 전압·전류를 기반으로 전력 상태를 파악하는 방식이어서, 복잡한 플라즈마 공정 조건에서는 실제 전달 전력을 정확히 측정하는 데 한계가 있다. 반면 핵융합연이 개발한 DiCoVI(Directional Coupled VI) 센서는 여기에 방향성 결합 기술을 더해 측정 정확도를 높였다.
DiCoVI 센서는 장비 운전 중 고주파 전력 전달 상태를 보다 정밀하게 확인할 수 있어, 장비 상태 모니터링과 공정 진단에 활용될 수 있다.
핵융합연은 이번 성과를 바탕으로 플라즈마 계측·진단 기술을 반도체·디스플레이 장비 분야로 확장하고, 산업 현장의 공정 진단과 장비 지능화를 지원해 반도체 장비 분야의 기술 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대하고 있다.
계약 상대인 아센디아는 1990년 설립 이후 반도체 플라즈마 공정용 RF 전력 핵심 부품인 고주파 전원 공급 장치, RF 매처, 필터, 튜너 등을 개발·제조해 온 기업이다. DiCoVI 센서를 자사 RF 매처에 적용해 고정밀 측정 기능을 갖춘 차세대 RF 매처 개발과 사업화를 추진할 예정이다.
기술이전 책임자인 김종식 책임연구원은 “이번 기술이전은 연구원이 개발한 플라즈마 진단 기술이 산업 현장의 공정 안정화와 장비 고도화에 활용되는 사례가 될 것”이라고 말했다.
오영국 원장은 “핵융합 기술개발 과정에서 축적한 플라즈마 원천기술은 반도체, 디스플레이 등 다양한 첨단산업에 폭넓게 활용될 수 있다”며 “앞으로도 연구원이 보유한 핵심 기술이 산업 현장으로 확산될 수 있도록 기업과의 기술협력을 적극 확대해 나가겠다”고 밝혔다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
