첨단산업용 비파괴검사장비 전문기업 이노메트리가 중소벤처기업부의 '2026년 글로벌협력형 연구개발(R&D)' 사업에 최종 선정돼 영국 UCL과 유리기판 미세크랙 검출 기술을 공동 개발한다.
이번에 선정된 과제는 '유리기판(TGV) 공정에서 발생하는 미세크랙을 정밀 검출하는 고해상도 X-ray 검사 시스템 개발'이다. 이노메트리가 주관연구개발기관을 맡고, 재료공학·첨단 영상기술 분야의 세계적인 연구중심대학인 영국 UCL이 공동연구개발기관으로 참여한다.
글로벌협력형 R&D는 국내 중소기업이 해외 우수 연구기관과 공동 연구개발을 수행해 글로벌 기술경쟁력 확보와 해외시장 진출 기반 마련을 지원하는 중소벤처기업부 연구개발 사업이다. 연구개발 기간은 이번 달부터 2029년 6월까지 3년이다.
최근 AI 반도체와 고성능 컴퓨팅(HPC) 시장 확대에 따라 유리기판 TGV는 차세대 반도체 패키징 핵심 기술로 주목받고 있다. 이번 과제는 기존 X-ray 흡수영상으로 확인하기 어려운 미세크랙을 차세대 영상기법을 적용한 고해상도 X-ray 검사 기술로 정밀 검출하는 것이 목표다.
과제책임자인 신진우 이노메트리 검사기술센터장은 “UCL과의 공동 연구를 통해 TGV뿐만 아니라 반도체 첨단 패키징, CPO(광반도체) 등 초정밀 반도체 산업에도 적용해 검사 정밀도를 한층 높이고, 차세대 반도체 검사 시장에서의 기술 경쟁력을 강화해 나갈 계획”이라고 말했다.
김명희 기자 noprint@etnews.com
