중국 반도체 식각 장비업체 중미반도체(AMEC)가 개발한 공정 챔버 8800개 이상이 실제 반도체 양산라인에서 가동되고 있는 것으로 나타났다. 중국산 장비가 개발·검증 단계를 넘어 생산 현장으로 빠르게 확산하고 있다는 분석이다.
4일(현지시간) AMEC이 상하이증권거래소에 제출한 상반기 실적 예고 공시에 따르면 지난 6월 말 기준 회사의 공정 챔버는 중국 내외 220여개 생산라인에서 양산에 사용되고 있다. 지난해 말 170여개에서 반년 만에 약 50개 늘었다. 공정 챔버는 반도체 장비 내부에서 진공 환경을 조성해 웨이퍼 식각이나 박막 증착 반응을 수행하는 핵심 공간이다.
회사가 지금까지 개발한 첨단 반도체 장비는 총 54종이다. 고·저에너지 플라즈마 식각 장비 26종을 비롯해 박막 증착과 화학기계연마(CMP), 계측·검사 장비 24종 등이 포함됐다. AMEC는 식각·박막 장비의 공정 정밀도가 원자 수준에 도달했다고 밝혔다.
신제품 개발 속도도 빨라지고 있다. 과거에는 장비 한 종을 개발해 시장에 진입하기까지 통상 3~5년이 걸렸지만, 최근에는 이를 2년 이하로 단축했다. 현재 6개 장비 분야에서 20종 이상의 신제품을 동시에 개발하고 있다. 복수의 장비가 고객사 검증을 마쳤으며, 일부 성능 지표는 해외 표준 장비보다 우수하다는 게 회사 측 설명이다.
이 같은 성장 속도의 배경에는 공격적인 연구개발(R&D) 투자가 있다. AMEC는 2026년 상반기에만 전년 동기보다 37% 증가한 20억4200만위안(약 4300억원)을 R&D에 투입했다. 올해 상반기 매출 30% 수준이다. 이는 중국 커촹반(과학혁신판) 상장사들의 평균 R&D 비중인 10%~15%를 두 배 이상 웃도는 수치다.
AMEC 상반기 매출은 약 66억9100만위안으로 전년 동기 대비 34.9% 늘어날 전망이다. 순이익은 27억~29억위안으로 최대 310% 증가할 것으로 추산됐다.
박유민 기자 newmin@etnews.com
