반도체 장비 공급업체인 서전교역(대표 홍성균)은 미국 일드업社가 생산하는 웨이퍼 세정장비인 「오메가」 시리즈 제품을 이달부터 본격 국내 공급한다.
일드업社가 자사 특허인 정전기 방식 세정기술을 이용해 개발한 「오메가 2000」과 「오메가 4000」제품은 웨이퍼는 물론 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등과 같은 대형기판을 세척하는데 사용되는 장비로 0.25미크론 이하의 미세 먼지까지 제거할 수 있는 고기능 제품들이다.
또한 오메가 시리즈는 웨이퍼 세척시 가동 부품이나 기계적인 동작을 사용치 않음으로써 웨이퍼 및 기판의 손상을 최소화했고 자기정화기능을 지닌 별도의 가공실도 보유하고 있다.
특히 「오메가4000」은 실시간 윈도 환경에서 작동되는 독립형 세정 및 건조장비로 화학, 기계적연마(CMP) 관련 각종 세정공정에도 적용 가능하다.
<주상돈 기자>