지난 93년 설립된 주성엔지니어링(대표 황철주)은 국내 최초로 반도체용 저압화학증착(LPCVD)장비인 「유레카2000」을 개발, 양산에 성공한 반도체장비 전문업체다.
소자산업에 비해 상당히 낙후된 것으로 평가받는 국내 반도체장비분야에서 중소업체가 대당 30억원을 호가하는 전공정용 핵심장비를 개발했다는 것은 그 자체만으로도 놀라운 사실이다. 실제로 화학증착(CVD)장비나 에처와 같은 반도체 전공정용 핵심 장비분야에서 이처럼 국내 업체가 개발한 제품이 양산용으로 채택된 것은 주성의 「유레카2000」이 처음이다.
그런데도 주성은 제품출시 3년 만에 ASM·고쿠사이·어넬바와 같은 세계 유명 장비업체들을 제치고 LPCVD분야에서 국내 장비수요 대부분과 세계시장 수요의 절반 이상을 차지하는 성과를 올렸으며 현재는 전체 화학증착장비분야에서 세계시장 석권을 목표로 하고 있다. 이를 위해 주성은 기가급 이상의 고집적 반도체 제조에 필수적인 유기금속화학증착(MOCVD)기술과 차세대 300㎜ 웨이퍼장비도 선보였다.
이에 힘입어 주성엔지니어링은 IMF 한파가 몰아닥친 지난해에도 500억원 가량의 매출을 올렸으며 미국·일본 등으로 장비수출이 본격화되는 올해는 1000억원 이상의 매출을 달성, 내년 5월에 직상장할 계획이다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>