『해외에서 반도체장비를 생산하는 것은 이번 한국이 처음입니다. 한국은 고급 인력과 우수한 제조 인프라를 갖고 있어 첨단 반도체장비를 생산하기에 충분하다고 봅니다. 이를 계기로 한국의 반도체 제조업체들에 더욱 신속한 제품공급 및 기술지원서비스를 제공하겠습니다.』
릭 오렐리오 미국 배리안(Varian) 사장(55)은 지난 6일 경기도 송탄의 한국배리안에서 열린 「이온 주입기(Ion Implanter) 한국생산 기념식」에 참석해 이같이 밝히고 『총 매출의 60%를 차지하는 아시아 지역에 대한 진출을 강화하기 위해 한국을 생산 및 수출 거점으로 적극 키울 계획』이라고 말했다.
반도체장비업계에서만 15년동안 근무한 오렐리오 사장은 『한국의 반도체장비 제조업체들과 공동으로 장비 판매·마케팅·서비스를 위한 제휴선을 물색중』이라고 말했다.
그는 배리안으로서는 사업품목을 늘릴 수 있고, 한국업체들은 배리안의 글로벌 네트워크를 이용해 해외에 진출할 수 있는 이점이 있다고 설명했다.
배리안은 전세계 이온주입기시장의 40% 이상을 점유한 부동의 1위 업체다. 미국 VLSI리서치가 세계 주요 반도체장비업체를 대상으로 실시한 고객만족도 설문 조사에서는 전공정장비 부문 업체 중 지난 97년부터 3년 연속 1위를 차지했다.
오렐리오 사장은 차세대 300㎜ 장비 전략과 관련 『배리안이 처음 도입한 싱글 웨이퍼 타입은 웨이퍼 핸들링만 바꿈으로써 한대의 장비에서 200㎜와 300㎜ 웨이퍼 제조공정이 가능하며 수율도 높다』라면서 『2년 전부터 관련장비를 한국 및 전세계 소자업체에 납품해 사용중』이라고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>