전자 중공업 소디프신소재, 삼불화질소(NF3) 제3공장 건설 발행일 : 2006-04-21 15:02 지면 : 2006-04-21 25면 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게