
일본 알박이 외국계 장비업체로는 처음으로 반도체 전 공정 핵심장비를 한국에서 직접 개발·생산한다.
알박의 이 같은 방침은 지금까지 장비 개발과 생산은 본사에서, 한국법인은 영업과 사후서비스(AS)만을 전담해온 외국계 기업의 비즈니스 관행을 깨는 것이어서 주목된다. 특히 세계 2위 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론도 지난해 말 경기도 화성에 준공한 장비 개조 공장(프로세서 개발센터)을 기반으로 알박과 유사한 직접 생산체제 전환을 검토 중이어서 외국업체의 한국법인이 영업·서비스 거점에서 연구·생산 거점으로 탈바꿈할 전망이다.
한국알박(대표 백충렬 www.ulvackorea.co.kr)은 반도체 전 공정에서 웨이퍼에 금속배선을 입히는 장비인 스퍼터를 개발, 국내 반도체 장비업체에 직접 공급할 계획이라고 30일 밝혔다.
백충렬 사장은 “직접 생산체제는 삼성전자·하이닉스 등 세계적인 반도체 업체 등 고객의 요구에 발빠르게 대응하기 위한 차원”이라며 “이번 장비 개발은 모회사인 일본 알박의 기술 이전으로 이뤄졌으나 체임버 등 핵심부품을 100% 국산화해 연간 300억원대의 수입대체 효과를 거둘 수 있게 됐다”고 강조했다.
신제품(모델명 ENTRON-EX W300)은 알박 본사가 2005년에 개발한 300㎜ 웨이퍼 생산용 스퍼터를 벤치마킹한 것으로 모두 10개의 프로세스 체임버를 부착할 수 있어 6개를 가동하던 기존 제품에 비해 생산성이 40%나 높다. 한국알박은 스퍼터에 이어 올 하반기에는 반도체 생산 중에 발생하는 자연 산화막을 제거하는 세정장비도 개발, 직접 양산할 계획이다.
한국알박 관계자는 “이미 기술 개발이 쉬운 LCD용 스퍼터를 시범적으로 국산화해 국내에 공급 중”이라며 “일본 본사에 역수출하는 방안도 적극 추진할 계획”이라고 밝혔다.
한국알박은 지난해 LCD 장비와 부품 공급, AS 등을 통해 1700억여원의 매출을 올렸으며, 올해에는 자체 공급하는 반도체 스퍼터와 세정장비 판매액을 합쳐 2000억원대 고지를 돌파할 계획이다.
장지영기자@전자신문, jyajang@