유니셈(대표 김형균 www.unisem.co.kr)은 ‘칠러 장치의 전자식 팽창밸브 제어 방법’에 관한 특허를 취득했다고 20일 밝혔다.
이번 특허는 전자식 팽창 밸브에 허용되는 신호출력을 단계별로 균등 분할하는 기술로, 기존 유니셈이 생산하는 장비의 품질 및 성능 개선에 활용될 예정이다.
칠러(Chiller)는 반도체 제조공정 중 화학적 또는 물리적인 식각 공정에서 챔버 내의 열을 제어해 양질의 웨이퍼가 생산될 수 있도록 하는 자동 온·습도 조절 장치다.
심규호기자@전자신문, khsim@