피에스케이, 애싱장비 관련 특허취득

피에스케이는 플라즈마를 이용한 기판 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 15일 공시했다.

해당 기술은 바이어스 전압을 사용하는 플라즈마를 이용한 기판 처리장치에 관한 것으로 애싱장비 성능 향상에 사용될 전망이다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr