피에스케이, 기판처리장치 등에 대한 특허 취득

피에스케이는 배기장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치. 그리고 배기방법 등에 대한 특허를 취득, 반도체 장비 성능 향상을 위해 활용할 계획이라고 4일 공시했다.

전자신문인터넷 장윤정 기자linda@etnews.co.kr