어플라이드 머티어리얼즈는 신규 반도체 장비 플랫폼 'AIx'를 선보인다고 27일 밝혔다.
AIx는 '액셔너블 인사이트 액셀러레이터'를 의미한다. 엔지니어가 각 장비의 공정 상황을 실시간으로 파악하고, 정확한 측정을 할 수 있도록 지원하는 툴킷이다.
이 플랫폼은 △챔버AI △온보드 계측 △인라인 계측 △어플라이드 프로(PRO) △디지털 트윈 △컴퓨팅 자원 등으로 구성된다. 머신러닝과 인공지능(AI) 기술, 고도화한 알고리즘 기술이 플랫폼 속에 녹아들었다.
해당 플랫폼은 어플라이드의 모든 공정 장비, 전자빔 계측 시스템, 검사 시스템과 호환된다. 연구 단계부터 양산 시설까지 이 기술을 적용할 수 있다.
프라부 라자 어플라이드 머티어리얼즈 반도체 제품그룹 부사장 겸 총괄 매니저는 “반도체 제조 핵심 가치인 전력·성능·공간 비용·출시 소요 기간(PPACt) 중 '시간(t)'을 단축하는 일은 모든 반도체 기업에게 중요하다”며 “AIx는 개발 시간을 절반으로 줄이는 것을 목표로 지난 3년간 개발됐다”고 말했다.
강해령기자 kang@etnews.com