SMG, 반도체·디스플레이 장비용 히터 생산 속도 향상 신공정 도입

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SMG의 원판형 마이카 히터
<SMG의 원판형 마이카 히터>

특수히터·온도센서 전문기업인 SMG가 반도체·디스플레이 장비에 탑재되는 마이카(운모) 히터 제조 속도를 크게 늘린 신공정을 도입, 생산량 확대에 나선다. 히터 신제품을 대량 생산으로 급증하는 반도체·디스플레이 장비 부품 수요에 대응한다.

SMG는 최근 마이카 히터 생산량을 비약적으로 늘릴 수 있는 신공정을 도입했다고 17일 밝혔다. 기존 마이카 히터 생산 시간을 50% 이상 줄일 수 있다.

SMG는 “최근 반도체·디스플레이 장비 시장에서 히터 수요가 크게 늘었다”면서 “고객 요구 물량에 대응하기 위해 생산 기간을 단축하면서 비용을 절감할 수 있는 신규 공정을 도입, 제품 경쟁력 강화에 성공했다”고 밝혔다.

마이카 히터는 반도체 웨이퍼 온도를 높이거나(베이킹) 반도체·디스플레이 장비 내 챔버 온도를 조절하는데 꼭 필요한 부품이다. 각종 공정 가운데 원활한 증착·식각 환경을 만들어 주는 역할을 한다. 예를 들어 식각 공정(에칭) 시 정밀 공정에 악영향을 미치는 부산물(파티클)이 장비 안에 붙을 수 있는데 히터로 적정 온도까지 높여주면 이 현상을 줄일 수 있다. 다양한 히터 소재가 있지만 최근 세밀한 온도 제어와 평탄도 측면에서 유리한 마이카 히터 채택 비중이 높아졌다.·

SMG의 창틀형 마이카 히터 재료.
<SMG의 창틀형 마이카 히터 재료.>

SMG는 마이카 소재를 눌러 히터 제품을 만드는 프레싱 공정 기술을 개선했다. 기존에는 마이카 소재 조각을 이어 붙여 만들었지만, SMG 신공정은 한번에 찍어낼 수 있는 대면적 프레싱이 가능하다. 마이카 소재를 층층이 쌓아 고정하기 위한 볼트와 너트 작업도 필요없어 생산 시간을 대폭 줄일 수 있다. SMG는 신공정을 통해 웨이퍼 크기의 히터뿐 아니라 가로세로 1m 수준 창틀형 마이카 히터 생산도 시작했다.

SMG는 신공정을 통해 생산한 마이카 히터로 급증하는 반도체·디스플레이 장비 부품 수요에 대응할 방침이다. 최근 반도체 공급 부족으로 반도체 장비뿐 아니라 관련 부품 수요도 크게 늘었다는 게 SMG 설명이다. 마이카 히터 경우 지난해 대비 두배에 육박하는 시장 성장세가 예상된다. 현재 SMG 마이카 히터 신제품은 국내 반도체·디스플레이 장비 업체와 샘플 테스트를 진행 중이다.

SMG, 반도체·디스플레이 장비용 히터 생산 속도 향상 신공정 도입

방서연 SMG 대표는 “반도체·디스플레이 장비업체에 빠르게 납품할 수 있는 대량 생산 체제를 확보했다”면서 “신공정 도입뿐 아니라 마이카 히터 제품의 디자인과 제조 방법에 대한 특허를 바탕으로 국내외 영업 활동을 강화할 것”이라고 밝혔다.

권동준기자 djkwon@etnews.com