에코프로에이치엔, 삼성ENG에 '온실가스 저감설비' 공급

에코프로에이치엔(EcoProHN)은 삼성엔지니어링과 400억원 규모의 온실가스 저감 설비(RCS) 단일 판매, 공급계약을 체결했다고 30일 밝혔다. 계약은 에코프로에이치엔의 온실가스 감축 솔루션 사업 부문 중 대용량 촉매식 과불화화합물(PFCs) 처리 설비(RCS)에 대한 공급계약이다. 이는 지난해 에코프로에이치엔 전체 매출액의 약 44%에 해당하는 규모의 금액이다.

에코프로에이치엔 공장 전경.
<에코프로에이치엔 공장 전경.>

PFCs는 6대 온실가스 중 지구온난화 계수(GWP)가 상대적으로 높은 온실가스(GWP 9200, 이산화탄소 대비 온실가스 효과 9200배)로 반도체·디스플레이 산업공정에서 주로 발생한다.

에코프로에이치엔의 PFCs 처리 설비는 반도체 공정 중 핵심 공정인 에칭(Etching)공정에서 사용되는 PFCs를 에코프로에이치엔만의 독자적 촉매식 대형 온실가스 감축 기술로 제어하는 장비이다.

박태준기자 gaius@etnews.com