파크시스템스는 '세미콘 코리아 2025'에서 차세대 원자현미경(AFM)을 출시했다.
원자현미경은 탐침(Probe)이 표면을 스캔하면서 원자 간 상호작용을 측정해 나노미터(㎚) 수준의 이미지를 생성하는 장비다.
파크시스템 신제품은 최대 300㎜ 웨이퍼까지 분석 가능한 '파크(Park) FX300', 기존 원자현미경에 적외선 분광(IR Spectroscopy) 기술을 접목한 '파크 FX300 IR' 및 '파크 FX200 IR' 3종이다.
이들 제품은 대형 웨이퍼 샘플 분석을 위한 첨단 성능과 업계 최상의 자동화 기능을 갖춘 것이 특징이다. 고정밀 분석이 필요하지만 완전 자동화된 인라인 시스템 도입이 부담스러운 기업과 인라인 생산 이전에 원자현미경을 도입하려는 기업들을 겨냥했다.
파크 FX300은 최대 300㎜ 웨이퍼 또는 소형 샘플 16개까지 동시에 분석할 수 있다. 현재 반도체 산업에서 주로 사용되는 300㎜ 웨이퍼를 지원하면서 산업용, 연구용으로 모두 사용될 수 있다. 자동 탐침 교체 및 모니터링 기능, 머신러닝 기반 정밀 레이저 및 광 검출기 자동 정렬 시스템 등을 지원한다.
파크 FX200 IR과 파크 FX300 IR는 원자현미경과 적외선 분광 기술을 결합한 제품이다. 5㎚ 이하의 초고해상도로 소재의 물리적 특성뿐만 아니라 화학적 특성까지 동시에 분석할 수 있다.
조상준 파크시스템스 전무는 “신제품은 300㎜ 웨이퍼 측정에 최적화된 기능을 탑재하고 성능을 극대화했다”며 “자동화 측정 소프트웨어를 통해 사용자 편의성을 크게 향상시키는 한편, 적외선 분광 기능을 강화해 산업용과 연구용 광학현미경의 경계를 허물었다”고 강조했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
