아이티켐은 반도체, 디스플레이 등 첨단산업 핵심소재로 사용되는 중수(D₂O) 관련 핵심 원천기술을 특허로 등록했다고 21일 밝혔다.
특허는 △전기분해를 이용한 중수의 분리 및 농축 기술 △CECE를 이용한 중수의 분리 및 농축 기술, 총 2건이다.
아이티켐은 기존에 중수를 재활용 생산하는 기술을 확보하고 충북 괴산에 중수 생산시설을 구축하고 있는데, 이번 특허는 이와 달리 자연수로부터 고순도 중수를 직접 농축하는 기술에 대한 것이다. 유해가스인 황화수소를 사용하지 않아, 기존 중수 생산 공정 대비 친환경적인 것이 특징이라고 설명했다.
중수는 일반 자연수(경수, H₂O)의 수소(H)가 동위원소인 중수소(D)로 치환된 물질이다. 중수소가 가진 수소 대비 높은 안정성을 바탕으로 사실상 수소가 사용되는 거의 모든 분야에서 적용 가능한 차세대 소재로 주목받고 있다.
전통적인 사용처인 중수로 원자력 발전소 냉각재에서 최근 식각·세정 등 반도체 제조공정에 쓰이는 특수가스, 유기발광다이오드(OLED) 소재, 신약 연구 및 합성생물학 분야 동위원소 실험 등으로 활용 범위가 확대되고 있다.
회사 관계자는 “국내 공급망 안정화에 기여하고 반도체·디스플레이·제약 등 다양한 응용 분야로 중수를 확장할 계획”이라고 전했다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
