[ET특징주] 팸텍, 반도체 기술로 美 특허 획득… 상한가 직행

팸텍이 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 밝혀 주가가 상한가다.

8일 오전 11시 15분 기준 팸텍(271830) 주가는 전 거래일 대비 29.87% 상승한 2100원에 거래되고 있다.

자동화 장비 전문기업 팸텍은 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 이날 밝혔다.

이번에 등록된 특허 명칭은 'AUTOMATED SEMICONDUCTOR WAFER SAMPLE PRE-PROCESSING SYSTEM'으로, 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다. 해당 기술은 이미 국내에서 동일 명칭으로 특허가 등록된 바 있다.

팸텍 관계자는 “최근 반도체 제조 공정은 고집적 구조 중심으로 발전하고 있다. 이에 따라 웨이퍼 내부 결함 분석과 레이어 구조 확인은 더욱 높은 정밀성과 반복성을 요구하고 있다”며 “이번 특허를 기반으로 글로벌 반도체 기업들을 대상으로 한 장비 공급 확대가 기대된다”고 설명했다.

서희원 기자 shw@etnews.com