국내 반도체 부품 업체인 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 램리서치와의 특허 분쟁에서 승소해 주목된다. 세계적 반도체 장비 업체의 공세를 막는데 그치지 않고 특허까지 무력하게 만들어 관심이 쏠린다.
7일 업계에 따르면 특허심판원은 CMTX가 제기한 램리서치의 '무선 주파수 접지 복귀 장치들(특허 제2285582호)'에 대한 특허무효 심판에서 최근 청구 성립 심결을 내렸다. 선행 기술들과 비교할 때 진보성이 결여돼 특허로서 효력이 없다고 '무효 판정'한 것이다.
회사는 이보다 앞서 벌어진 램리서치와의 분쟁에서도 승소한 바 있다. 지난해 7월 같은 특허를 대상으로 제기했던 '소극적 권리범위확인 심판'에서 CMTX 제품이 램리서치 특허를 침해하지 않았음을 확인 받았다.
양사 분쟁은 지난 2024년 10월 램리서치가 CMTX를 상대로 특허권 침해금지 소송을 제기하면서 시작됐다. CMTX의 식각 공정 부품 'C-링'이 자사 특허를 침해했다고 주장한 것이다.
C-링은 식각장비 챔버 내에서 웨이퍼 가장자리를 둘러싸 고정하고 플라즈마를 웨이퍼에 집중시키는 부품으로 식각 균일성을 높여 반도체 수율을 개선한다.
램리서치는 CMTX가 특허를 침해했다고 소송을 제기했지만 인정 받지 못했고, 오히려 등록 특허가 무효화되는 성적표를 받았다.
램리서치는 어플라이드 머티어리얼즈, TEL, ASML 등과 함께 '톱5'에 드는 세계적인 반도체 장비사다. 반도체 제조에 필수적인 장비를 만들어 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등에 공급하고 있는데 반격을 당했다.
반도체 장비사들은 설비 뿐만 아니라 반도체 제조에 필요한 소재·부품 사업도 진행하고 있다. 반도체 제조사들이 장비사가 아닌 외부 업체로부터 더 저렴한 가격에 공정 부품을 조달하는 비중을 늘리자 이번 CMTX와 램리서치 사례처럼 특허 분쟁을 벌이는 경우가 늘고 있다.
CMTX 관계자는 “승소는 단순히 개별 기업의 방어를 넘어, 국내 반도체 부품 생태계의 기술적 독립성과 정당한 경쟁 권리를 지켜낸 것”이라며 “이어질 특허재판과 민사 소송에서도 유리하게 작용할 것으로 예상한다”고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
