세계 최대 반도체 연구소인 벨기에 아이멕(imec)이 1.4나노미터(㎚) 공정설계키트(PDK)를 개발, 공급을 시작했다. 초미세 공정으로, 아직 상용화 전례가 없는 1.4㎚ 개발 생태계 조성이 시작됐다.
10일 업계에 따르면, 아이멕은 최근 나노IC 시제품 생산라인(파일럿)의 1.4㎚ 공정용 A14 패스파인딩 PDK를 출시했다. 세계 1·2위 반도체 설계 자동화(EDA) 기업 시높시스와 케이던스가 이번 PDK 개발을 지원했다.
PDK는 특정 반도체 공정에 필요한 각종 데이터와 설계 지원 및 검증 도구를 포함한 소프트웨어다. 반도체를 설계하는 팹리스는 PDK가 있어야 해당 공정에 최적화된 반도체를 개발할 수 있다.
아이멕은 나노IC라는 자체 연구개발(R&D)용 파일럿 라인을 보유하고 있다. 이번에 개발한 PDK를 통해 1.4㎚ 공정 시제품을 나노IC 라인에서 개발할 수 있게 됐다.
이번 PDK는 R&D 차원이지만, 1.4㎚ 개발 환경 조성에 첫발을 내디뎠다는 점에서 주목된다. 대량 생산은 하지 않더라도 1.4㎚ 기술을 선제적으로 다룰 수 있기 때문이다.
특히 기존 2㎚ PDK에서는 부재했던 후면전력공급장치(BSPD)를 처음으로 적용할 수 있다. 후면전력공급은 기존 반도체 회로와 전력 공급을 함께 배치했던 것과 달리, 웨이퍼 뒷면에서 전력을 공급하는 차세대 기술이다. 기존 2㎚과 견줘 면적은 18%, 전력 소모는 7% 절감할 수 있어 차세대 반도체 개발에 기여할 것으로 예상된다.
마리 가르시아 바든 아이멕 나노IC 프로젝트 워크 패키지 리더는 “PDK 공급으로 대학, 산업계, 스타트업이 차세대 기술에 접근하는 장벽을 낮출 수 있다”며 “새로운 연구 방향과 획기적인 개념을 탐구할 수 있을 것”이라고 말했다.
산업계에서도 1.4㎚ 생태계 구축에 박차를 가하고 있다. TSMC, 삼성전자, 인텔 등 반도체 위탁생산(파운드리) 기업이 현재 1.4㎚ 공정을 개발 중이다. TSMC와 삼성전자는 올해 하반기 1.4㎚ 공정용 PDK를 내놓을 예정이다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
