글로벌 광학솔루션 기업 독일 자이스가 반도체 사업부의 첫 글로벌 협업·연구개발(R&D) 거점을 한국에 마련했다.
자이스코리아는 10일 경기 용인 '자이스 반도체 이노베이션 센터(ZSKIC)'를 개소했다고 밝혔다. 총 350㎡ 규모로 서플러스 글로벌 반도체 장비 클러스터 내에 마련된 센터는 자이스 반도체 최신 포토마스크 솔루션과 고정밀 계측 및 검사 솔루션 등을 갖췄다.
3D 엑스레이 계측·검사 솔루션 'ZEISS NLX-100'은 복잡한 패키지 구조를 고해상도로 진단하고 데이터를 제공한다. 웨이퍼 레벨 및 첨단 패키징 공정에서 활용할 수 있다.
반도체 웨이퍼 형상을 측정하고 교정하는 솔루션 'ZEISS DUNE 100'은 반도체 칩 생산 중 발생하는 휨 등 문제를 웨이퍼 전체뿐만 아니라 특정 영역 왜곡도 교정할 수 있다. 화학적기계연마(CMP) 슬러리와 같은 화학 물질 없이도 작업이 가능하다.
포토마스크 수리 솔루션인 'ZEISS MeRiT AE'로 최첨단 공정에서 핵심적인 역할을 하는 포토마스크 미세한 결함까지 수리하는 능력을 확장했다.
자이스는 ZSKIC를 통해 한국 고객사 반도체 양산과 첨단 패키징 분야에 자이스 최신 기술이 적용될 수 있도록 협력할 계획이다.
이를 통해 한국에서 자이스 활동영역을 넓히고 반도체 분야 협력을 강화, 글로벌 네트워크를 한층 견고히 할 방침이다. 고객사 양산 환경에 맞는 솔루션 개발, 공정 최적화 및 솔루션 검증을 신속하게 지원한다. 연구개발(R&D)부터 한국 반도체 고객의 양산 전환까지 속도를 높이는데 기여할 전망이다.
자이스는 R&D를 통해 마련된 주요 포토마스크 및 팹 솔루션을 한국 ZSKIC에 추가 구비할 예정이다. 장비 개발 초기부터 한국 고객사와 기술협력을 강화할 방침이다.
프랑크 로문트 자이스 반도체사업부 대표(CEO)는 “한국에 자이스의 첫번째 글로벌 반도체 센터를 열게 돼 기쁘다”며 “한국은 글로벌 반도체 산업의 거점이며 이번 센터 개소로 한국 고객사들에 신뢰받는 장기적인 파트너가 되길 바란다”고 말했다.
카롤리네 피그돈 자이스 반도체 팹 솔루션 부문장은 “ZSKIC는 한국 고객들이 원하는 최첨단 기술과 빠르고 실용적인 지원을 가까운 곳에서 제공하는 역할을 할 것”이라고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
