중국 파운드리 기업 화홍반도체(화홍그레이스)가 기존 8인치 반도체 생산라인을 업그레이드하면서 중국산 반도체 장비 구매 비중을 확대한 것으로 나타났다.
미국의 대중 반도체 장비 규제가 이어지는 가운데, 자국산 장비 도입을 늘리고 절감한 투자 여력을 신규 생산시설 확대로 돌리는 흐름이다.
27일 상하이증권거래소(SSE) 커촹반 공시 시스템에 따르면, 화홍은 기존 '8인치 공장 최적화·업그레이드 프로젝트'를 마무리하기로 했다.
당초 8인치 팹 업그레이드 사업에 배정한 모집자금은 20억위안(4000억원)으로, 사업 종결에 따라 약 12억5734만위안의 투자 규모를 줄이기로 했다.
화홍은 실제 모집자금 사용액이 계획보다 줄어든 요인으로 시장 수요에 따른 투자 조정, 일부 장비의 다른 재원 결제와 함께 '중국산 장비 구매 비중 확대'를 명시했다.
사업 과정에서는 건식 식각, 박막 증착, 이온주입, 습식 식각·세정, 화학적기계연마(CMP), 계측·검사 등 주요 반도체 제조 장비를 교체했다. 화홍은 이를 통해 해당 생산라인의 공정 플랫폼을 개선하고 당초 사업 목표를 달성했다고 밝혔다.
해당 사업은 8인치 생산라인 일부를 개선해 임베디드 비휘발성메모리(eNVM) 등 특화공정 수요에 대응하고 전력반도체 공정 플랫폼을 고도화하기 위해 추진됐다.
장비 국산화 등으로 절감한 자금은 신규 생산시설 투자로 이어진다. 화홍은 8인치 팹 업그레이드와 특화기술 연구개발 사업의 잔여 모집자금 약 25억위안, 미사용 초과 모집자금 약 30억위안 등 총 55억 위안을 '우시 3기' 투자에 활용할 계획이다.
우시 3기는 총 69억5000만달러(약 9조원) 규모로, 월 5만5000장 생산능력을 갖춘 12인치 특화공정 생산라인으로 구축된다.
신규 생산라인은 논리·무선주파수(RF), 이미지센서, 비휘발성메모리 등 특화공정 제품 생산에 활용될 예정이다. 화홍은 2027년 말까지 생산라인 구축을 마치고 가동에 들어갈 계획이다.
박유민 기자 newmin@etnews.com
