비아트론이 산업통상부가 주관하는 '소재·부품·장비(소부장) 으뜸기업'에 신규 선정됐다고 29일 밝혔다.
소부장 으뜸기업은 핵심전략기술 분야에서 독보적인 기술력과 성장 잠재력을 갖춘 기업을 발굴해 글로벌 대표기업으로 육성하는 정부 지원 사업이다.
이번 선정으로 비아트론은 국내 주요 종합반도체 기업 등과 함께 120억원 규모 으뜸기업 전용 과제를 수행한다. 이후 양산 검증을 거쳐 장비 기술 완성도를 한층 높일 계획이다.
비아트론은 반도체 제조 공정의 핵심인 급속 열처리(RTP) 기술을 앞세워 경쟁력을 인정받았다. 회사는 축적된 기술력을 바탕으로 3D D램 등 차세대 3D 반도체 공정에 최적화된 RTP 장비 개발을 추진 중이다.
특히 증착과 식각 공정 챔버를 하나의 장비로 통합한 '올인원' 방식의 RTP 플랫폼 구축을 목표로 하고 있다. 기존 램프 기반 방식과 달리 레이저 기반의 정밀 온도를 제어함으로써 공정 효율성과 생산성을 혁신적으로 끌어올린다는 구상이다.
비아트론 관계자는 “반도체 소자가 초미세화·고집적화됨에 따라 열처리 공정 중요성이 커지고 있다”며 “이번 으뜸기업 선정을 계기로 RTP 기술력을 한층 강화해 글로벌 시장 진입을 가속화하겠다”고 강조했다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
