에스엠지머티리얼즈가 반도체 식각공정에 사용하는 실리콘(Si) 링 생산량을 최대 5배 늘린다. 늘어나는 반도체 수요에 맞춰 소모성 부품인 실리콘 링 수요도 급증, 공급량을 확대하기로 했다.

에스엠지머티리얼즈는 최근 실리콘 링 소재를 생산하는 실리콘 잉곳 생산량을 기존 월 20런에서 최대 100런으로 늘리기로 했다. 런은 잉곳을 실리콘 링으로 만들기 위한 절단 등 공정 작업 단위로 1런에 많게는 수백장의 실리콘 링을 생산할 수 있다.

에스엠지머티리얼즈 관계자는 “생산량 확대를 위해 운반용 로보틱스 장비와 잉곳을 절단하는 다이아몬드 소잉(절단) 장비를 추가 도입하고 있다”면서 “8월부터 대규모 양산 체제를 갖출 수 있을 것”이라고 밝혔다. 회사는 양산 능력 확대로 월 만단위 실리콘 링 생산도 가능할 것으로 내다봤다.

실리콘 링은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼가 장비 안에서 움직이지 않도록 고정 역할을 하는 부품이다. 반도체 장비 챔버 안에서 플라즈마가 정확한 위치에 모여지도록 하는 포커스 링과 웨이퍼를 정확하게 위치시키고 포커스 링 보조 역할을 하는 에지 링 등으로 나뉜다. 소모성 부품으로 최근 반도체 수요가 늘어나면서 실리콘 링 등 소모성 부품 수요도 급증하고 있다.

에스엠지머티리얼즈 관계자는 “반도체 제조사들이 설비 투자 등으로 생산능력을 확대하면서 소모성 부품 수요도 함께 증가하고 있는 추세”라면서 “이에 대응하기 위해 신속히 공급량을 늘려야 하는 상황”이라고 설명했다.

에스엠지머티리얼즈는 가공한 실리콘 링을 국내 대기업 계열 반도체 부품사에 공급한다. 해당 부품사에서 마감 작업 등을 거쳐 실리콘 링을 완성하고 반도체 제조사에 납품한다. 2019년 말에 설립한 에스엠지머티리얼즈는 2년도 되지 않아 해당 부품사 우수협력사에 선정돼 안정적 수요처를 확보했다.

권동준기자 djkwon@etnews.com