국립공업기술원은 3일 첨단분석장비 확충계획의 일환으로 영국 배컴 제너레이터 Vacuum Ge-nerator)사로부터 표면분석복합장비인 X선 광전자 분광기-오 제이전자 현미경-이차이온질량분석기(ESCA-SAES-IMS)를 도입했다고 밝혔다.
이번에 도입한 표면분석장비는 ESCA와 AES, SIMS가 함께 설치된 복합장비로 재표표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양과 재료 구성원소의 화학적 상태를 분석할 수 있는 특징을 지니고 있다.
특히 ESCA-AES-SIMS는 얇은 박막층의 재료를 분석할 수 있기 때문에 소형화 .고직접화해 가는 반도체 등의 첨단소재제조 및 성능평가에 필수적인 장비로 우리 상품이 외국에 수출된 뒤 기능의 저하, 부식현상 등으로 인한 클레임을 받았을 경우 그 부위를 측정하여 원인규명도 할 수 있다.
또 이 분석기는 국내에 도입된 타기종에 비해 다양한 분석요구에 부응할 수있도록 주사전자현미경과 영상장치와 시료의 깊이에 따른 구성원소의 종류 및 양을 측정하기 위한 이온층을 갖춘 것은 물론 시료의 온도를 1백70도K에 서 1천도K까지 변화시킬 수 있다. <이윤재 기자>