반도체장비 수출품목이 다양해지고 있다.
17일 관련업계에 따르면 그동안 국내 반도체장비류의 수출은 몰딩 및 마킹시스템, 핸들러, 가스공급장치, 클린룸 설비 등이 위주가 돼 왔으나 최근 들어 화학증착장비(LP CVD), 가스 스크러버, 온도조절기 등 고성능 장비는 물론 공정자동화시스템, 웨이퍼 캐리어, 무진와이퍼 등 주변장치 및 소모성 제품으로까지 크게 확대되고 있다. 특히 이들 신규 수출품목의 대부분이 최근 국내 시장에서 외산 제품과 치열한 경쟁을 벌이고 있거나 혹은 올 들어 외국 업체들의 본격적인 시장침투가 예상되는 품목들이어서 해외시장 진출을 통한 기술경쟁력 확보 여부에도 관심이 모아지고 있다. 지난해 64MD램에 대응하는 저압 기상 LP CVD 「유레카2000」을 개발한 주성엔지니어링은 최근 일본 후지쯔 및 미국 지너스에 이 장비를 공급한 데 이어 미국 유진 및 오스틴지역에 AS센터를 잇달아 개설하는 등 본격적인 해외시장 개척에 나섰다.
반도체용 가스장비 생산업체인 한국MAT는 지난해 번인(Burn In)과 웨트(Wet) 타입의 두가지 가스처리 방식을 동시 수행하는 소형 가스 스크러버 「MAT153」를 개발, 미국 ROHM社에 수출한 데 이어 최근 미국 새너제이지역에 장비 판매는 물론 생산까지 가능한 해외지점을 설립했다.
반도체장비 업체인 코삼도 최근 3채널 온도조절기(Chiller) 「CCS-TA0015M」을 개발, 일본 유수의 반도체장비 업체에 공급키로 하는 등 올해부터 온도조절기의 수출을 본격화하고 있다.
또한 자동화시스템 전문업체인 한연테크는 반도체 및 LCD용 공정자동화시스템 「드림스」를 대만의 모젤 및 UMC에 수출키로 하고 최근 1차로 파일럿 버전의 설치에 착수한 데 이어 수출확대에 대응, 이미 개설한 대만지사의 인원을 확충하는 한편 미국 포틀랜드지역과 일본에 제품 판매 및 AS를 담당할 지사 설립도 추진중이다.
반도체 생산관련 소모성 제품의 수출도 다양해지고 있다.
상아프론테크는 반도체 웨이퍼용 프로세스 캐리어 및 이송박스를 미국 IBM과 TI 등에 공급중이며, 화학수지 제품 전문업체인 한송도 자체 개발한 초청정 클린룸용 무진와이퍼를 미국 머크社에 공급키로 하고 이달부터 본격적인 제품선적에 들어간다.
이밖에 나노하이텍과 준택이 각각 테스트용 보드와 번인 소터의 수출을 적극 추진중이며, 영신엔지니어링과 해태전자도 고주파 발생기(RF Generator) 및 반도체용 외관 검사시스템의 수출을 하반기부터 본격화할 방침이어서 국산 반도체장비 및 유틸리티의 수출품목은 더욱 다양해질 전망이다.
<주상돈 기자>