일본 니콘이 대형 유리기판을 사용한 액정표시장치(LCD)용 노광장치를 내년중에 선보일 계획이라고 「일본경제신문」이 보도했다.
니콘이 선보이는 노광장치는 「마스크」라는 회로원판의 회로패턴을 대형 유리기판 상에 노광하는 장치로 차세대 유리기판 규격인 「80×95㎝」 이상의 크기를 지원하며 독자적으로 개발한 노광방법을 사용해 생산성을 높인 것이 특징이다.
<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>
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일본 니콘이 대형 유리기판을 사용한 액정표시장치(LCD)용 노광장치를 내년중에 선보일 계획이라고 「일본경제신문」이 보도했다.
니콘이 선보이는 노광장치는 「마스크」라는 회로원판의 회로패턴을 대형 유리기판 상에 노광하는 장치로 차세대 유리기판 규격인 「80×95㎝」 이상의 크기를 지원하며 독자적으로 개발한 노광방법을 사용해 생산성을 높인 것이 특징이다.
<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>