삼성전자의 반도체 장비 자회사인 세메스가 오스트리아 세즈(SEZ)와의 특허소송에서 승소, 국산화 장비의 해외 판매에 따른 걸림돌을 제거하게 됐다. 이번 승소를 계기로 세메스는 국내외 장비 공급을 통해 1000억원 이상의 매출 증대 효과를 기대하고 있다.
반도체 및 LCD 전공정 장비업체인 세메스(대표 이승환 http://www.semes.co.kr)는 오스트리아 세즈사가 올해 초 제기한 SWP(Single Wafer Processor) 장비 관련 ‘원판형 공작물 에칭장치(특허등록 제120321호)’ 특허권 침해금지 소송 및 가처분 신청에 대해 맞제소한 ‘특허무효 심판 청구’ 소송에서 승소 판결을 받았다고 12일 밝혔다.
세즈사는 대만 반도체업계에 SWP 장비를 90% 가까이 독점 공급하고 있는 업체로, 세메스가 자체 개발한 SWP 장비를 이노테라 등 대만업체에 공급하자 한국에 등록한 특허를 내세워 세메스를 상대로 한국특허심판원에 특허침해소송을 제기했었다.
이에 대해 특허심판원(심판장 박재천)은 심결문을 통해 “SWP 장비의 기본구조와 관련한 세즈 특허를 조사한 결과, 이미 업계에 공개된 기술로 등록된 특허는 무효”라고 밝혔다. 특히 이번 판결은 세즈가 지난 97년 국내에 특허 등록한 전체 11개 청구항에 대해 그 등록을 모두 무효화하는 것이다.
이승환 세메스 사장은 “이번 승소를 계기로 그동안 세즈사가 독점해 온, 연간 5000억원으로 추산되는 전세계 반도체 세정 장비 시장을 적극 공략해 대만·중국 등 아시아시장에서만도 연 1000억원 이상의 추가 매출을 기대할 수 있게 됐다”고 강조했다. 실제로 세메스는 이달에 SWP 장비 판매를 주력으로 하는 대만 판매거점을 마련할 예정이다.
SWP 장비는 반도체 제조공정에서 웨이퍼 표면에 도포된 불필요한 막질을 에칭(식각)하고 미세 불순물을 제거하는 차세대 세정 장비로, 현재 한국의 세메스와 오스트리아의 세즈 등이 앞선 제조기술을 보유하고 있다.
한편 이에 앞서 지난 10월 반도체·LCD 검사장비 업체인 파이컴도 미국 폼팩터사와의 특허소송에서 승소하는 등 최근 선진 장비업체와 국내 장비업체 간 특허소송에서 국내 기업의 승소가 이어지고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@