기초소재 원천 기술 연구에서 대학부터 기업까지의 파이프라인과 테스트베드 구축이 절실하다. 6일 서울 성동구 한양대 EUV소재특성평가실에서 신소재공학과 나노공정 및 소자연구실 박사과정 학생들이 국내 유일의 EUV광원으로 광학적 특성을 분석하는 결맞음성 회절 현미경(CSM)으로 반도체 웨이퍼에 전사되는 회로를 포함한 포토마스크 테스트를 하고 있다.
이동근기자 foto@etnews.com
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