“KrF, ArF 포토레지스트(PR)는 물론 앞으로 EUV PR까지 이곳에서 생산될 것입니다.”
동진쎄미켐이 총 200여억원을 투자한 반도체 PR 신공장을 본격 가동했다. 동진쎄미켐은 25일 경기도 화성 발안 공장에서 신규 PR 제조동 준공과 제품 출하식을 가졌다.
이준혁 동진쎄미켐 대표는 “반도체용 PR의 원활한 수급과 함께 고객 눈높이에 맞는 최상의 제품을 제공하기 위해 건설한 공장”이라며 “앞으로 EUV PR까지 이곳에서 생산할 계획”이라고 말했다.
PR은 반도체 제조 필수 소재다. 빛으로 회로를 만들어내는 노광 공정에 PR이 사용된다. 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)과 같이 각기 다른 광원에 따라 PR도 달라진다. 동진쎄미켐은 KrF, ArF용 PR을 양산, 공급하고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스가 주 고객사다.
신공장은 지난해 4월 착공됐다. 지하 1층, 지상 3층 연면적 3400㎡(1028평) 규모로 지어졌으며, 작년 12월부터 제조 설비를 들여 이날 본격 가동을 시작했다.
동진쎄미켐의 이번 신공장 가동은 국내 반도체 소재 공급망 강화에 기여할 전망이다. 신설 공장의 최대 생산능력은 100% 설비 구축 및 풀가동 기준 월 3만2000갤런이다. 현재 생산능력보다 4배 큰 규모다. 동진쎄미켐은 삼성전자 3D 낸드용 PR을 독점 공급하는 등 사실상 국내에서 유일한 반도체 PR 업체여서 동진쎄미켐의 생산능력 확대는 곧 국내 반도체 소재 공급망 안정화로 이어진다. 2019년 발생한 일본의 수출규제와 같은 일이 다시 일어나도 대처할 수 있는 기반이 마련된 셈이다.
또 동진쎄미켐은 제품 다변화 및 생산능력 확대로 성장이 기대된다. 동진쎄미켐은 국내 최대 반도체 업체인 삼성전자에 KrF용 PR을 공급하다가 지난해 말부터 ArF이머전(i) PR로 확장하는데 성공했다. ArF 노광은 웨이퍼에 도달하는 빛의 굴절을 위해 공기를 사용하는 드라이 방식과 빛 굴절률이 높은 액체를 사용하는 이머전 방식이 있는데, 삼성전자 ArFi PR 공급은 그동안 외국 회사들이 독점해왔다. 동진쎄미켐은 2019년 일본 수출규제 이후 기회를 잡고 ArFi PR 개발과 양산 적용에 성공했다. 동진쎄미켐 관계자는 “신규 공장에서만 2025년 기준 3600억원의 매출이 발생할 것으로 예상된다”고 밝혔다.
동진쎄미켐은 EUV PR 국산화에 도전하고 있다. 사내 인프라와 벨기에 반도체 허브인 아이멕(IMEC)의 EUV 노광기 등을 활용해 EUV PR을 개발 중이다. EUV PR은 EUV 공정, 즉 차세대 반도체 제조에 사용되는 핵심 소재인 데, JSR·신에츠·TOK 등 일본 업체들이 장악하고 있다. 동진쎄미켐은 EUV PR 개발도 성공시켜 신공장에서 만들겠다는 각오다. 이준혁 동진쎄미켐 대표는 “구체적인 내용은 언급할 수 없지만 EUV PR은 순조롭게 개발이 진행되고 있다”고 말했다.
화성(경기)=
윤건일기자 benyun@etnews.com
