[2021 이달의 산업기술상]김광현 아바코 대표 "8세대 하프 대면적 OMO 스퍼터 기술 개발"

김광현 아바코 대표이사
<김광현 아바코 대표이사>

김광현 아바코 대표(사진)는 '8세대 하프 대면적 OMO(Oxide·Metal·Oxide) 스퍼터(Sputter)' 기술을 개발했다. 이 장비는 유기발광다이오드(OLED) 패널 제작 과정에서 유기물 위에 음극을 형성한다. 디스플레이 제조 공정 중 컬러필터 라인에서 투명전도막(TCO) 증착과 박막트랜지스터(TFT) 소자 라인에서 메탈 전극 형성용으로 사용된다.

투명 플렉서블 패널에서 요구하는 TCO 전기전도도와 투과도 특성을 만족하기 위해 기존과는 다른 OMO 구조를 채택했다. 제작 과정에서 하부 OLED층 손상을 방지하기 위해 신규 공정과 하드웨어 기술을 적용했다. 이번 과제로 개발된 OMO 스퍼터는 OLED 제작 설비 적용을 목표로 제작했다. 잠재 가능성이 큰 투명 플렉시블 디스플레이에 활용될 전망이다.

변상근기자 sgbyun@etnews.com