주성엔지니어링이 세계 최초 개발한 '원자층 성장(ALG)' 반도체 제조 장비를 출하했다. 전례 없던 반도체 장비로, 차세대 반도체 시장 선점을 위한 본격적인 행보에 나섰다.
주성엔지니어링은 지난 16일 ALG 트랜지스터 풀 통합(Transistor Full Integration) 반도체 제조 장비 출하식을 가졌다고 18일 밝혔다. 고객사명는 구체적으로 공개하지 않았지만 글로벌 반도체 제조사로 알려졌다.
ALG는 반도체 회로를 구현하는데 기존 원자층증착(ALD)이 아닌 '성장' 공정을 활용하는 기술이다. 원자 단위로 반도체 회로 구성 물질을 뿌리는 대신 작을 결정을 키워 나가는 방식이다. 기존 증착과 식각 공정 비용을 줄일 뿐 아니라 노광 공정 없이도 초미세 회로를 만들 수 있다.
주성엔지니어링은 차세대 반도체 트랜지스터가 수직 적층 구조로 전환하는 것에 주목, ALG 장비를 2024년 개발한 바 있다. 기존 회로 미세화 한계를 극복하기 위해서다.
지금까지 반도체 제조 공정은 한정된 공간에 더 많은 트랜지스터를 집적해야했다. 나노미터(㎚) 이하 단위로 회로 선폭을 줄이는 기술 난도가 점점 커지는 이유다. 또 회로를 미세화할 수록 누설 전류가 증가, 전력 소모도 크게 늘고 있다.
주성엔지니어링은 수평적 회로 구현이 아닌 수직 적층구조로 트랜지스터를 구현, 각종 난제를 해결할 수 있다고 판단해 ALG 장비를 개발했다. 회로를 성장시켜 '쌓는 구조'로 높은 전자 이동도, 낮은 누설 전류, 높은 열 안정성 등을 확보하도록 했다. 업계 첫 기술 개발 성과가 이번 시장 공급으로 가시화됐다.
회사는 ALG 기술을 반도체 뿐만아니라 디스플레이, 태양광 장비에도 적용할 방침이다. 현재 북미·아시아·유럽·중동 등 글로벌 기업과 협업을 진행 중이라고 부연했다.
주성엔지니어링 관계자는 “단순 공정 장비 제작을 넘어 AI 시대에서 반도체 제조기술의 새로운 기준과 표준을 만들어 가고 있다는 것이 핵심”이라며 “앞으로도 세계 최초, 업계 유일한 혁신 기술을 바탕으로 세계 반도체, 디스플레이, 태양광 제조 산업의 새로운 패러다임을 제시하겠다”고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
