케이씨텍(대표 고석태·이순창 http://www.kctech.co.kr)은 하이닉스-ST세미컨덕터에 300㎜ 반도체 라인용 웨이퍼 세정기와 가스캐비넷 등 870만달러 규모의 반도체 장비를 공급했다고 1일 밝혔다.
하이닉스와 공동으로 개발한 300㎜ 반도체 공정용 웨이퍼 세정기를 초도 공급, 반도체 장비업체로 본격도약하는 계기를 마련했다고 회사측은 설명했다. 이번 공급으로 케이씨텍은 하이닉스에 300㎜ 웨이퍼 세정기를 국내 업체로는 최초로 공급하게 됐으며 제품 국산화를 통한 소자 업체의 비용 절감 효과가 기대된다. 하반기 투자 확대가 예정된 하이닉스에 추가 공급도 가능할 것으로 기대된다.
이순창 케이씨텍 사장은 “300㎜ 웨이퍼 세정기 출시를 계기로 반도체 장비 매출 비중을 기존 20%에서 30%로 끌어올리고 장기적으로 50%까지 늘일 것”이라며 “반도체·LCD 모두 고부가 장비 위주로 제품군이 재편될 것”이라고 말했다.
300㎜ 웨이퍼 세정기는 반도체 패턴 공정에서 발생되는 웨이퍼 상의 이물질을 제거하는 역할을 한다.
한세희기자@전자신문, hahn@