KETI-씨엔원, 차세대 ALD 기술 개발 협력

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김영삼 KETI 원장(왼쪽)과 정재학 씨엔원 대표이사가 ALD 기반 차세대 전자소자 핵심기술 협력을 위한 MOU를 교환한 뒤 기념촬영을 하고 있다. <사진=KETI>
<김영삼 KETI 원장(왼쪽)과 정재학 씨엔원 대표이사가 ALD 기반 차세대 전자소자 핵심기술 협력을 위한 MOU를 교환한 뒤 기념촬영을 하고 있다. <사진=KETI>>

한국전자기술연구원(KETI)은 씨엔원과 원자층증착법(ALD) 기술 개발을 위한 협약을 맺었다고 밝혔다. ALD는 원자 하나만큼의 두께를 가진 얇은 박막을 쌓는 공정이다. 기판 모양이나 크기에 상관없이 모든 면에 균일한 박막 형성이 가능해 차세대 반도체·디스플레이 핵심 기술로 꼽힌다. 두 기관은 이번 협약으로 △ALD 기반 차세대 전자소자 핵심 공정기술 분야 공동 사업 발굴·기획 △ALD 산〃연 공동 연구실 개소 △ALD 관련 신기술 공동 연구 및 인력 교류 등에 협력한다.

KETI는 지난 4월 산업통상자원부 지원으로 출범한 '소부장 융합혁신지원단' 대표 연구기관이다. 자동차용 초소형 고용량 적층 세라믹 커패시터(MLCC), 양자점 디스플레이 소재 및 패널, 실리콘 기반 광 융합 반도체 기술 개발을 추진하는 등 소재〃부품〃장비 핵심기술 국산화에 앞장서고 있다.

씨엔원은 ALD 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비업체다. 2008년 설립된 이 기업은 2020년 글로벌 강소기업에 선정돼 이노비즈 인증을 획득한 바 있다.

씨엔원은 미국, 일본, 중국, 싱가포르, 대만 등 해외시장에 진출해 연구개발용 ALD 설비를 공급하고 있다.

김영삼 KETI 원장은 “KETI의 ALD 핵심기술과 씨엔원의 ALD 장비 양산화 경험이 더해진다면 차세대 반도체·디스플레이 소재·부품뿐 아니라 다양한 고부가가치 소재 및 응용 분야에서 산연 협력 성공사례를 창출할 수 있을 것”이라고 말했다.

강해령기자 kang@etnews.com