중소·중견기업의 반도체 유해가스 저감설비를 검증하는 '오픈랩'이 평택에 모습을 드러냈다.
한국생산기술연구원(원장 손웅희)은 2일 평택대에서 평택시·평택산업진흥원과 함께 '지·산·연협력 기반 반도체 환경설비 오픈랩 개소식'을 가졌다.
반도체 공장은 제조 과정에서 온실·유해가스를 배출해, 이를 줄이는 환경설비 성능 및 신뢰성 확보가 중요하다. 다만 관련 설비를 개발하는 중소·중견기업의 경우 개발 기술을 실제 공정 조건에서 검증할 시설이 없어 성능 입증이 어렵다.
이에 생기원은 대규모 반도체 생태계가 구축돼 있는 평택에 지역기업들이 함께 활용할 수 있는 실증시설을 갖추고자, 평택시·평택산업진흥원·ISG와 공동 협력체계를 구축했다.
이에 문을 열게 된 반도체 환경설비 오픈랩은 중소·중견기업 보유 환경기술을 실제 공정에서 검증하고, 사업화로 이끄는 테스트베드 역할을 맡게 된다.
이를 위해 반도체 공정환경을 파일럿 규모로 재현, 기업이 개발한 오염물질 저감설비의 처리 성능과 운전 안정성을 시험하고, 그 결과를 실증 데이터로 확보할 계획이다.
특히 이산화질소(NO₂)와 같은 유해가스가 얼마나 줄었는지 실시간으로 확인할 수 있도록 습식 스크러버, 전기집진기 등의 처리장치와 배기가스 분석기를 구축했다. 검증을 마친 기술에 대해서는 수요 기업을 매칭해 지역 반도체 공급망 진입을 돕는 역할도 맡는다.
이날 오픈랩 개소식에는 최원용 평택시장, 최준구 평택시의회 기획행정위원장을 비롯한 평택시의회 의원, 정광용 평택산업진흥원장, 이동현 평택대 총장, 최태훈 생기원 부원장과 SK하이닉스, SK에코플랜트 등 산업계 관계자 100여 명이 참석했다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
