한국나노기술원이 삼성전자와 협력해 공공 반도체 연구시설의 안전·설비 관리체계를 정비했다.
한국나노기술원(원장 변대석)은 11일 과학기술정보통신부, 삼성전자와 '공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 성과보고회 및 장비 이전식'을 개최했다. 공공나노팹은 기업과 대학·연구소가 반도체 공정 연구와 기술 검증 등에 활용하는 공공 연구시설이다.
이번 협력은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍이 체결한 '모아팹(MoaFab) 기능 고도화를 위한 업무협약'의 후속 조치다. 모아팹은 공공 반도체 연구시설을 연계하는 플랫폼으로, 삼성전자는 나노종합기술원과 포항공대 나노융합기술원에 이어 한국나노기술원에 팹 운영·관리 경험을 전수했다.
컨설팅은 지난 7월부터 이달까지 5개월간 안전환경·현장관리·설비가동·설비운영 등 4개 분야에서 진행됐다. 삼성전자 반도체 사업을 담당하는 디바이스솔루션(DS)부문 상생협력센터의 김재순·김용덕 컨설턴트가 참여해 소재·부품·장비(소부장) 협력사에 적용해 온 제조혁신 기법을 공공 연구시설에 맞게 도입했다.
안전환경 분야에서는 유해화학물질 보관시설을 보강하고 배관 부식과 미세 누수 등 위험요인을 점검·개선했다. 가스 누출 감지체계와 국소배기장치의 작동 상태를 확인하는 한편, 연구자와 작업자의 보호구 관리·지급 기준도 정비했다.
현장관리에는 정리·정돈·청소·청결·습관화를 뜻하는 '5S'와 정품·정량·정위치를 의미하는 '3정' 원칙을 적용했다. 공구·비품의 보관 위치를 눈으로 쉽게 구분하도록 표시하고, 자재와 공구를 반입할 때 이물질이 유입되지 않도록 관리 절차를 손봤다. 청정 작업공간인 클린룸 내부에서는 설비와 작업환경의 오염 발생원을 찾아 제거하는 활동을 병행했다.
설비 분야에서는 고장을 사전에 막기 위한 예방정비 기준과 주기를 재정립했다. 체결·윤활·구동·전달·공압·전장·제어·계장 등 8개 계통을 기준으로 장비 상태를 진단하고, 부서와 공정 사이의 소통체계를 정비해 점검·관리 과정에 반영했다.
현장에서 확인한 취약점은 담당자 교육과 개선과제로 연결했다. 관리 원칙과 점검 방법을 교육한 뒤 실제 설비에 적용하도록 지도하고, 개선한 내용은 표준작업절차서(SOP)와 점검표, 교육·운영 기준에 담았다. 컨설팅 종료 후에도 담당자가 이상 징후를 발견하고 점검·정비를 이어갈 수 있도록 하기 위해서다.
한국나노기술원은 이를 토대로 팹 안전과 설비 상태를 상시 점검하는 '공공나노팹 현장점검 매뉴얼'을 자체 개발했다. 과기정통부는 컨설팅 모델을 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원 차세대센서·반도체연구소, 한국전자통신연구원 특화반도체기술센터 등으로 순차 확대하고 모아팹 참여기관에 우수사례와 매뉴얼을 공유할 계획이다.
이날 장비 이전식은 과기정통부의 '모아팹 중고장비 활용 지원사업'의 일환으로 열렸다. 기업의 유휴 반도체 장비를 공공나노팹으로 옮기고 정부가 이전·구축 비용을 지원하는 사업이다. 한국나노기술원은 삼성전자에서 이전받은 측정·분석 장비를 산학연 연구개발과 기술지원에 활용하고, 기존 팹 서비스와 전문인력 양성 프로그램에도 연계할 방침이다.
지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 “공공나노팹은 국내 소부장 기업이 새로운 기술과 제품을 실증·검증하는 K-반도체 생태계의 핵심 기반”이라며 “삼성전자가 협력사 지원을 통해 축적해 온 제조혁신 노하우가 한국나노기술원에 뿌리내려 국내 반도체 산업의 경쟁력을 한 단계 높이는 발판이 되기를 기대한다”고 말했다.
변대석 원장은 “현장점검 매뉴얼과 새로 도입한 장비를 바탕으로 서비스 품질과 운영 경쟁력을 높이고, 삼성전자와의 협력을 확대해 반도체 생태계 선순환에 앞장서겠다”고 말했다.
수원=김동성 기자 estar@etnews.com
